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SDB型薄膜氣浮減震器

SDB型薄膜氣浮減震器(Thin Film Air Bearing Isolators):
松夏薄膜氣浮減震器是一種專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用于提供高精度隔振效果的設(shè)備,它們通過(guò)一層非常薄的空氣膜來(lái)隔離振動(dòng)。這類(lèi)減震器特別適用于對(duì)振動(dòng)極其敏感的應(yīng)用場(chǎng)合,如半導(dǎo)體制造、光學(xué)測(cè)量和精密加工等領(lǐng)域。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造業(yè):例如光刻機(jī)、電子束曝光系統(tǒng)等要求極高精度的設(shè)備。
科學(xué)研究:包括原子力顯微鏡(AFM)、掃描隧道顯微鏡(STM)和其他納米級(jí)觀(guān)測(cè)儀器。
光學(xué)測(cè)量?jī)x器:如干涉儀、激光測(cè)距儀等需要極高的穩(wěn)定性的設(shè)備。
精密機(jī)械加工:用于超精密加工中心,以提高加工質(zhì)量和效率。
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